無塵車間如何對半導(dǎo)體材料除濕？

　　半導(dǎo)體材料無塵車間也要除濕:無塵車間又稱凈化車間，現(xiàn)在廣泛應(yīng)用于電子器件、半導(dǎo)體材料、生物醫(yī)學(xué)、生物技術(shù)等生產(chǎn)加工制造行業(yè)。由于凈化車間的生產(chǎn)制造，證明商品的成功率和精度不易造成環(huán)境污染。清潔生產(chǎn)車間蒸汽空氣濕度規(guī)律性很高，生產(chǎn)加工業(yè)清潔生產(chǎn)車間蒸汽空氣濕度規(guī)律性不同，半導(dǎo)體器件清潔生產(chǎn)車間蒸汽空氣濕度規(guī)律性為45%60%rh，尺寸公差誤差為1%，超過或低于1%。

　　那么氣體空氣濕度高于生產(chǎn)加工規(guī)定，對無塵車間有什么危害呢？起初，病原菌會繼續(xù)絕癥，這將降低潔凈室的水平：我們知道病原菌和其他外來物種（黃曲霉、病毒感染、病菌、滿蟲）可以在空氣相對濕度超過60%的地理環(huán)境中活動繁殖。當(dāng)空氣相對濕度超過30%時，一些腸道益生菌可以升高。當(dāng)空氣濕度在40%~60%之間時，病原菌的危害和上呼吸道感染至少可以減少。

　　其次，較高的空氣相對濕度會導(dǎo)致生產(chǎn)線設(shè)備腐蝕，降低使用壽命。雖然許多工業(yè)設(shè)備的外殼是由塑料或不銹鋼板芯等非金屬材料制成的，但許多部件仍然是由銅或不銹鋼板等金屬材料制成的。在高低溫地形下，零件容易生銹，從而降低工業(yè)設(shè)備的使用壽命。

　　再次操縱空氣相對濕度，可以為員工提供舒事的辦公環(huán)境，氣體空氣濕度在40%~60%范圍內(nèi)。空氣相對濕度過高會讓人感到無聊，而空氣相對濕度低于30%會讓人感到干燥、皮膚開裂、呼吸道不適、情緒緩慢。

　　罪終產(chǎn)品會潮濕，導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降。半導(dǎo)體應(yīng)用于其單側(cè)導(dǎo)電能力。一旦潮濕，就會變成電導(dǎo)體，容易出現(xiàn)短路故障的常見故障，損害產(chǎn)品特性。而且空氣相對濕度的增加會繼續(xù)損害半導(dǎo)體輔助材料的其他特性。以半導(dǎo)體光刻工藝為例，實驗證明，光刻工藝的粘度會隨著空氣相對濕度的增加而迅速降低。

　　因此，半導(dǎo)體無塵車間應(yīng)盡可能做好濕度控制工作。在南風(fēng)和雨季潮濕的情況下，為了準(zhǔn)確保證半導(dǎo)體的生產(chǎn)加工規(guī)定，盡量使用專業(yè)的除濕機械設(shè)備進(jìn)行防潮除濕。除濕機是一種專業(yè)的除濕機械設(shè)備，采用冷凍除濕專業(yè)，除濕速度更快，操作過程簡單方便快捷，是半導(dǎo)體無塵車間控濕的好選擇。